智能库位管理
支持载具在位检测、库位指示和现场信息查看，帮助操作人员掌握载具存放状态。
Cassette / Carrier / FOUP多规格载具存储
3×3 / 4×4 / 定制适应不同现场布局
Optical E84与 AMR 交接握手
SECS/GEM对接上层系统
Product Introduction
从智能存储到自动化交接，打造高效的载具周转节点
在半导体生产过程中，晶圆载具需要在不同设备、工序和存储区域之间频繁流转。传统料架主要提供存储空间，难以直接满足自动化产线对库位状态感知、载具识别和设备交接的需求。RockPlus E-Rack 将存储结构、传感器、识别单元与通信模块集成于一体，兼具存储、识别与自动化交接能力。
灵活缓存与周转
支持多种载具及不同库位配置，可部署于生产设备、Stocker 周边或工序之间，为载具临时存储和周转提供缓冲空间。
AMR 自动化交接
通过 Optical E84 通讯模块与 AMR 实现载具交接信号握手，配合 AMR 完成 Cassette、FOUP、Carrier 的自动取放。
通过与生产设备、AMR 和 Stocker 等物流环节配合，E-Rack 可作为产线中的载具缓存与交接节点，提高载具周转灵活性，支持半导体制造现场的自动化物流建设。
Core Features
核心功能
01 多规格载具存储
支持 Cassette、Carrier、FOUP 等载具存放，提供 3×3、4×4 及定制化库位配置，适应不同现场布局。
02 库位状态感应
内置库位感应器，对载具在位情况进行检测，为库位状态查看及物料交接提供基础信息。
03 条码识别与 RFID 扩展
标配条码读码器，实现载具信息读取；可选配 RFID 读写器，满足不同载具识别需求。
04 库位指示与触屏交互
通过库位指示牌及触摸屏幕展示相关信息，为现场操作和库位管理提供直观的人机交互方式。
05 Optical E84 自动化交接
采用 Optical E84 通讯模块，与 AMR 建立交接握手，支持 Load/Unload 作业中的状态确认、搬运许可、执行反馈及异常处理。
06 ESD 静电防护
采用防静电处理材质储位，结合设备结构接地及电源接地设计，满足半导体制造现场的静电防护需求。
Application Scenarios
E-Rack 业务场景：连接设备与 AMR，让载具流转更加灵活
RockPlus E-Rack 可部署在半导体生产设备、Stocker 及工序周转区域，通过与 AMR 的协同，为 Cassette、FOUP、Carrier 提供自动搬运过程中的暂存与交接位置。
场景一：设备 → AMR → E-Rack
设备下料与载具缓存。生产设备完成相关工序后，AMR 从设备端搬货位取出 Cassette，搬运至 E-Rack 指定储位，实现设备下料后的载具暂存。
适用于生产设备与后续工序节拍不同、需要设置中间缓存的场景。
场景二：E-Rack → AMR → 设备
载具取料与设备上料。AMR 从 E-Rack 取出 Cassette，运送至目标设备的搬货位，完成载具转运与上料交接。
E-Rack 可作为设备旁的载具待用区，配合 AMR 进行自动化物流周转。
场景三：Stocker + E-Rack
Stocker 周边缓存扩展。单 Stocker 场景下，可根据现场布局在 Stocker 一侧配置 E-Rack，作为补充载具缓存节点。
通过 AMR 周转载具，使集中存储设施与产线临时存放区域形成配合。
场景四：设备间临时缓存
工序衔接与周转缓冲。同一区域内不同生产设备之间，利用 E-Rack 临时缓存 Cassette 等载具，由 AMR 根据搬运任务完成转运。
设置中间缓存节点，降低前后工序直接交接的依赖。
业务价值
- 支持设备与 E-Rack 之间的双向载具搬运
- 满足 Stocker 周边的临时缓存需求
- 为同一区域多设备之间的载具周转提供缓冲
- 配合 AMR 实现无人化载具取放与自动交接
AMR Communication
E-Rack 与 AMR 通信：基于 Optical E84，实现载具自动搬运交接
RockPlus E-Rack 采用 Optical E84 通讯模块与 AMR 进行信号交互，围绕对接确认、搬运请求、交接许可、动作执行、完成反馈和异常处理建立交接控制流程；通过双方的状态检测与握手机制，配合 AMR 的机械手或升降机构，完成 Cassette、FOUP、Carrier 的自动存放与取出。
Optical E84 载具交接业务流程
STEP 01
系统初始化与状态确认
AMR 靠近 E-Rack，通过光电传感器或位置对接点确认对接位置。双方建立 E84 握手，检查交接准备状态。
CS_0CS_1CS_2STEP 02
对接（Docking）
AMR 向 E-Rack 发起 Vehicle Dock Request，E-Rack 确认并反馈 Dock Granted。AMR 完成物理对接后，发送 Dock Complete，进入载具交接准备阶段。
STEP 03
搬运请求与许可
AMR 通过 E84 通道发起 Load/Unload 请求。E-Rack 根据库位占用状态、设备安全条件等信息判断是否允许执行搬运，并进入相应交接许可流程。
TR_REQBUSYVALIDTransfer PermitSTEP 04
搬运执行
AMR 启动机械手或升降机构，将晶圆盒 FOUP/Carrier 放置到 E-Rack 储位，或从指定储位取出。搬运过程中，通过 BUSY 等状态信号反映交接执行情况，并避免重复交接请求。
STEP 05
完成与确认
搬运完成后，双方通过 Transfer Done、COMPLETE 等项目交接状态确认作业结束。随后清除相应忙碌状态，解除 Docking，AMR 退出交接位置，通信流程恢复至 Idle 状态，为下一次传送做好准备。
STEP 06
异常处理
当对接失败、搬运中断或设备发生异常时，通过 Alarm/Error 等信息反馈异常状态。AMR 与 E-Rack 按预设的故障处理逻辑执行 Reset，在故障清除并重新确认交接条件后恢复通信。
关键交互信号与状态
| 类型 | 技术名词 |
|---|---|
| 对接相关 | CS_0 / CS_1 / CS_2 |
| 对接业务事件 | Vehicle Dock Request / Dock Granted / Dock Complete |
| 搬运操作 | Load / Unload |
| 搬运相关信号 | TR_REQ / BUSY / VALID |
| 搬运业务状态 | Transfer Permit / Transfer Done / COMPLETE |
| 交接结束 | Docking / Idle |
| 异常恢复 | Alarm / Error / Reset |
Technical Specifications
产品技术参数
RockPlus E-Rack-1600
| 设备型号 | e-Rack |
|---|---|
| 物料种类 | Cassette / Carrier / FOUP |
| 储存容量 | 3×3 / 4×4 / 定制 |
| 通讯方式 | SECS/GEM；Optical E84 |
| 使用环境 | 温度 20～25℃、湿度 35～85%、Class 1 |
| 电源 | 固定电源 |
| 储位静电防护 | 防静电处理材质储位，表面阻值 10⁶～10¹¹ Ω |
| 设备接地 | 设备外部结构接地，设备电源接地＜1 Ω |
| 标配功能 | E84 通讯模块、库位感应器、条码读码器、库位指示牌、触摸屏幕 |
| 可选功能 | RFID 读写器 |
实际规格、环境等级适用条件及配置以产品技术规格书为准。
常见问题
围绕 E-Rack 的 AMR 搬运、缓存节点、Optical E84 通信与异常处理的几个常见问题。
E-Rack 是否支持 AMR 自动搬运？
支持与 AMR 进行自动化载具交接。E-Rack 通过 Optical E84 通讯模块与 AMR 进行交接握手，由 AMR 的机械手或升降机构执行载具取放。实际应用需要完成双方机械对接和通信联调。
E-Rack 能否作为生产设备之间的缓存节点？
可以。E-Rack 可配置于生产设备周边、Stocker 一侧或工序之间，用于 Cassette 等载具的暂存，配合 AMR 实现工序间的载具周转。
Optical E84 通信能够完成哪些功能？
在本产品应用方案中，Optical E84 用于支持载具交接握手和相关状态交互，包括交接准备、请求、执行、完成确认及异常状态处理。具体支持的信号与时序以双方接口规范为准。
如果 AMR 对接失败或搬运中断怎么办？
系统可根据交接接口和项目设定的异常逻辑反馈 Alarm/Error，并在完成故障处理及 Reset 后重新建立交接。实际恢复方式由双方控制系统的实现决定。
让智能存储与自动化搬运无缝衔接
RockPlus E-Rack 集载具存储、库位感应、信息识别与 Optical E84 自动化交接于一体，为半导体制造现场提供灵活的物料暂存和 AMR 搬运配套方案。从生产设备到 E-Rack，从载具缓存到自动交接，为半导体产线构建更灵活的物流周转节点。
